喜開理流量傳感器介紹，CKD銷售

電子部件的吸附確認(rèn)及各種N2凈化氣體流量的管理。
熱式流量傳感器·生態(tài)流體
顯示器/FSM-V-D
□30×32
可在真空中使用
(正·負(fù)壓兩用型)
電子部件的吸附等可用于真空中。
系列 規(guī)格 響應(yīng)速度 顯示器 材質(zhì) 輸出方式 流量范圍 雙方向檢測 頁
通過新技術(shù)的整流機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了原來沒有的緊湊型·高速響應(yīng)。
與原來產(chǎn)品的體積比
優(yōu)化傳感器，防故障于未然。
門類·用途例子請參照下頁
小型·輕量 高速響應(yīng) 分離型 整體型 開關(guān)輸出 模擬輸出 大流量類型
輸出方式備有模擬輸出型及目視、
可檢測開關(guān)異常的數(shù)碼顯示、開關(guān)輸出型。
可根據(jù)用途選擇
超小型·輕量 分離型 超高速響應(yīng) 本體材質(zhì) 開關(guān)輸出 模擬輸出 低流量類型 雙方向檢測
可在狹小的空間中或可動(dòng)部位設(shè)置，
使設(shè)備小型化,輕量化。
高速響應(yīng)
采用應(yīng)用硅微機(jī)械加工的白金傳感芯片,實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)。
超小型 高響應(yīng)
在確認(rèn)電子部件等吸附中發(fā)揮威力。
應(yīng)用硅微機(jī)械加工的白金傳感芯片
電子部件的吸附確認(rèn)及各種N2凈化氣體流量的管理。
熱式流量傳感器·生態(tài)流體
FSM系列/FSM-V系列

喜開理流量傳感器介紹，CKD銷售
不需要直管部分
采用了新技術(shù)的整流機(jī)構(gòu)，側(cè)和下流側(cè)
都不需要直管部分。
確認(rèn)實(shí)裝機(jī)的吸附確認(rèn)等,及間隔時(shí)間短的裝置中。
可在真空中使用(正·負(fù)壓兩用型)
電子部件的吸附等可用于真空中。
不需要直管部分
可選擇顯示器整體型和分離型
用途廣泛。
流量范圍
0.5、1、5、10、20、50、100 /min
在確認(rèn)電子部件等吸附中發(fā)揮威力。
應(yīng)用硅微機(jī)械加工的白金傳感芯片
通過新技術(shù)的整流機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了原來沒有的緊湊型·高速響應(yīng)。
采用了新技術(shù)的整流機(jī)構(gòu)，側(cè)和下流側(cè)
都不需要直管部分。
安裝姿勢自由
上下左右無論哪個(gè)方向都可安裝。
可進(jìn)行流量管理
備有RAPIFLOW 超小型直管型過濾器
采用應(yīng)用硅微機(jī)械加工的白金傳感芯片,實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)。
確認(rèn)實(shí)裝機(jī)的吸附確認(rèn)等,及間隔時(shí)間短的裝置中。
與原來產(chǎn)品響應(yīng)速度對比
彎頭OK 5msec以下 50msec以下